后摩尔时代正在逐步推进,先进封装正在快速发展。
先进封装与传统封装最大的区别在于芯片与外部电连接的方式,采用凸块和传输速度更快的中间层,主要包括凸块、倒装芯片和晶圆级封装。 、再分布层技术(RDL)和硅通孔(TSV)技术等。
我国封装测试产业链相对成熟,但封装设备国产化率较低。
2022年包装技术与设备,中国大陆长电科技、通富微电子等全球外包封测(OSAT)厂商合计占比将达到25%左右; 但国内缺乏知名包装设备制造商,包装设备国产化率不超过5%。 我们相信未来在自主可控背景下,包装设备国产化率有望进一步提升。
传统和先进包装所需的设备有一定程度的重叠,但工艺要求发生了变化。 设备的增加主要在于前端图案化设备。
(1)传统:①减薄机:先进封装芯片厚度在100μm以下,甚至30μm以下,增加了减薄难度; ②划片机:目前以砂轮划片机为主,激光划片机为辅; ③固晶机:设备的效率和精度要求提高,关键在于视觉对位系统、运动控制等; ④ 键合机:过去传统多为打线键合,但晶圆级封装技术发展迅速,如临时键合&去键合是超薄晶圆背面加工的关键支撑。 混合键合仅通过铜触点实现短距离电气互连; ⑤ 成型机:传统包装多采用传递包装包装技术与设备,在先进包装背景下,压塑包装是未来趋势; ⑥电镀机:随着先进封装的发展,如凸点、RDL、TSV等,都需要电镀金属铜进行沉积。 (2)新增前端图形化设备:主要包括PVD或CVD等薄膜沉积设备、涂胶及显影设备、光刻机、刻蚀机、电镀机等。
他山之石可以攻玉,海外领导人可以借鉴他们的经验。
(1)减薄机、切片机:领先者为日本DISCO、东京精密等,合计份额在70-90%左右。 国内细化机主要厂商有华海青科、麦威股份、晶盛机电等。 等,主要划片机有麦威科技、光利科技、大族激光、德龙激光等; (2)固晶机:Besi、ASM占据全球前两位,CR2约占60%,国内主要有新益昌、快科智能等; (3)键合机:国外K&S、ASM为主导的半导体焊线机,CR2在80%左右。 国内主要是奥特威等,领先的晶圆键合机是奥地利EVG和德国。 SUSS等,CR2在70%左右,主要国内公司有拓晶科技、芯源微等。
投资建议:强烈推荐晶盛机电、拓晶科技、盛美上海、麦威控股、华海青科、奥图威、大族激光、鑫源微、德隆激光; 建议关注新易昌、广利科技、快客智能、文易科技、耐克装备等。
风险提示:需求不及预期,技术研发不及预期。
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【东吴机械】周二双/李文毅